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光学NanoGauge C10323-02E

C10323型光学纳米膜厚测量系统是一款微观厚度测量系统。 在宏观层面上无法测量具有不规则表面的物体,因为这些物体会产生高强度的散射光。 对于这些类型的物体,测量小面积可减少散射光,从而实现测量。


C10323-02E的电源电压为AC100 V至AC120 V。

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详细参数 产品特性 外形尺寸(单位:mm)

详细参数

型号 C10323-02E
可测膜厚范围(玻璃) 20 nm to 50 μm①
测量可重复性(玻璃) 0.02 nm②
测量准确性(玻璃) ±0.4 %③
光源 Halogen light source
光斑尺寸 φ8 μm to φ80 μm④
工作距离 Refer to objective lens list
可测层数 Max. 10 layers
分析 FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis
外部控制功能 RS-232C, PIPE, Ethernet
电源 AC200 V to AC240 V , 50 Hz/60 Hz
功耗 Approx. 250 VA
测量波长范围 400 nm to 1100 nm
接口 USB 2.0

*1:转换时玻璃的折射率是1.5

*2:测量400 nm玻璃薄膜厚度时为标准偏差(公差)

*3:取决于光学系统或物镜放大倍数

*4:测量保证范围同VLSI标准测量保证文件一致

产品特性

● 可在微观层面进行测量


● 高速、高准确度


● 分析光学常量(n, k)


● 可外部控制

外形尺寸(单位:mm)

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